分子泵组常见故障诊断与排除方法

 

　　分子泵组最常见的故障之一是真空度不达标，表现为真空计显示数值始终高于目标值，无法达到工艺所需的高真空状态。引发该问题的原因主要有三点：一是密封件老化或损坏，如法兰密封圈因长期高温、低温交替出现裂纹，导致空气泄漏；二是进气口或管道存在堵塞，粉尘、工艺残渣堆积阻碍气流流通；三是分子泵本身性能衰减，转子叶片磨损或电机转速不足。诊断时，可先采用氦质谱检漏仪对密封面进行检测，若发现氦气泄漏则更换密封件；再检查进气管道，用压缩空气吹扫或拆卸清理堵塞物；若前两项无异常，需检测电机转速，必要时更换转子或电机。

 

　　异常噪音与振动也是它的高频故障，运行时产生刺耳声响或机体剧烈抖动，不仅影响设备寿命，还可能损坏关联部件。故障根源多为机械失衡，如转子动平衡被破坏、轴承磨损或润滑不足，也可能是泵组与底座连接松动。诊断步骤如下：首先停机检查连接螺栓，用扭矩扳手按标准力矩紧固；其次拆解泵体，观察轴承滚珠是否有划痕、磨损，若存在问题立即更换，并加注专用高温润滑脂；若轴承正常，需对转子进行动平衡校准，确保其旋转时重心稳定。

 

　　此外，电机过载跳闸故障也较为常见，设备运行中突然停机，配电箱内过载保护开关断开。该故障通常由负载过大引起，如泵腔内进入异物卡住转子、电机散热不良导致温度过高，或电源电压不稳定。排查时，先切断电源，手动转动转子，若存在卡顿则拆解泵体清除异物；检查电机散热风扇是否损坏、散热通道是否堵塞，及时清理或更换部件；同时用万用表检测电源电压，确保其处于设备额定电压范围内，必要时加装稳压装置。

 

　　它的故障诊断与排除需遵循“先观察现象、再分析原因、最后精准处理”的原则，同时定期开展预防性维护，如清洁密封面、检查轴承状态、校准电机参数等，才能最大限度减少故障发生，保障设备长期稳定运行，为高精度生产与实验提供可靠的真空环境支持。