真空探针台测试仪的使用注意事项

　　真空探针台测试仪是精密半导体检测设备，核心依托高真空环境、精准探针接触、稳定控温 / 控压实现器件电性能测试，操作不当易造成探针磨损、真空腔污染、测试数据失真甚至设备损坏，以下为全流程核心使用注意事项，覆盖操作前、操作中、操作后及安全规范。
 

　　一、操作前准备注意事项
 

　　确认设备整体状态，检查真空腔门密封胶圈无破损、变形、沾污，真空管道无漏气，探针臂、探针座无松动、偏移，测试线缆连接牢固无破损。
 

　　清洁作业环境，保持操作台及设备周边无粉尘、油污、杂物，严禁在周边摆放易挥发、腐蚀性试剂，防止污染真空腔或影响真空度。
 

　　检查辅助系统，确认真空泵(机械泵 / 分子泵)、冷水机、控温模块、气路系统正常供电，提前开机预热至设备规定工况(如分子泵需达到额定转速、冷水机水温稳定在设定范围)。
 

　　做好样品与探针准备：样品表面需经无尘清洁，去除氧化层、粉尘、污渍，防止接触不良；检查探针针尖无弯折、磨损、沾污，根据测试需求调整探针型号及针尖间距，提前完成探针校准。
 

　　操作人员需佩戴无尘手套、防静电手环，严禁徒手接触真空腔内部、探针针尖、样品承载台及密封面，防止汗液、指纹造成污染或静电击穿精密器件。
 

　　二、操作过程核心注意事项
 

　　(一)真空腔操作规范
 

　　开启腔门前需先确认真空腔已完全放气，腔体内压力与大气压平衡，严禁带压开启腔门，防止腔门弹开造成人员伤害或设备部件损坏。
 

　　放置 / 取出样品、调整探针时，动作轻缓平稳，避免触碰腔体内传感器、加热台、真空规管等精密部件，防止部件移位、损坏。
 

　　关闭腔门前再次检查腔体内无异物(如无尘纸、镊子、螺丝等)，确保密封胶圈贴合紧密，腔门锁紧到位，无松动缝隙，避免影响抽真空效率。
 

　　抽真空过程需按梯度抽气流程操作，先开机械泵抽至低真空，达到设定阈值后再启动分子泵抽至高真空，严禁直接启动分子泵抽常压腔体，防止泵体过载损坏；抽气过程实时监测真空度数值，若真空度上升缓慢或无法达到设定值，立即停机排查漏气点。
 

　　(二)探针与样品接触操作
 

　　调节探针臂时，通过微调旋钮缓慢移动，采用 “先粗调后精调” 方式，避免探针针尖快速撞击样品表面，造成针尖弯折、样品划伤或器件击穿。
 

　　控制探针接触压力，压力过大易导致针尖变形、样品压损，压力过小则接触不良、测试数据波动，需根据样品材质及探针规格，调节至设备推荐的接触压力范围。
 

　　测试过程中严禁随意调整探针位置、样品台参数，若需更换样品或调整探针，需先暂停测试、关闭相关测试通道，再进行操作。
 

　　(三)测试参数与系统操作
 

　　严格按照测试方案设置电压、电流、温度、测试频率等参数，严禁超量程设置测试参数，防止器件烧毁、测试模块过载。
 

　　控温测试时，缓慢调节加热 / 制冷模块温度，温度升降速率控制在设备规定范围，避免温度骤升骤降造成样品变形、探针与样品接触失效，同时确认样品台与样品接触良好，防止局部过热。
 

　　设备运行过程中，实时观察操作面板指示灯、数值显示及设备运行声音，若出现真空度异常、报错提示、异响、异味等情况，立即暂停测试，先关闭测试系统，再排查故障原因，严禁带故障运行。
 

　　三、操作后收尾注意事项
 

　　测试完成后，先关闭测试软件、切断测试模块供电，再根据设备流程停止控温、气路等系统，最后按规范放气：打开放气阀缓慢向真空腔充入干燥氮气(或洁净空气)，待腔体内外压力平衡后，再开启腔门。
 

　　取出样品后，及时清洁真空腔内部：用无尘纸蘸取专用无水乙醇，轻轻擦拭样品台、探针座、腔体内壁及密封面，去除残留污渍，待腔体内乙醇完全挥发后，再关闭腔门(可保持低真空状态，防止腔体内受潮、污染)。
 

　　清洁探针：用专用探针清洁工具轻轻清理针尖沾污，清洁后将探针臂复位至初始位置，避免探针长期受力变形。
 

　　关闭设备：按 “先辅机后主机” 顺序关机，依次关闭分子泵、机械泵、冷水机、总电源，做好设备运行记录，包括测试时间、测试参数、设备运行状态及异常情况。
 

　　整理作业现场，将测试样品、工具、耗材分类存放，保持操作台整洁。
 

　　四、日常维护与长期使用注意事项
 

　　定期更换真空腔密封胶圈、真空泵油、滤芯等易损耗材，按设备说明书规定的周期进行校准(如探针定位精度、真空规管、测试模块精度)，确保设备测试准确性。
 

　　若设备长期停用，需将真空腔抽至低真空状态并保持，防止密封胶圈老化、腔体内受潮氧化；再次启用前，需先对设备进行全面检查、清洁及抽真空调试，确认各项指标达标后再进行测试。
 

　　避免频繁开关设备，尤其是分子泵，频繁启停易降低其使用寿命，短期暂停测试(数小时内)可保持设备低功率运行。
 

　　五、安全操作注意事项
 

　　设备需可靠接地，防止静电积累造成设备及器件损坏，操作人员全程佩戴防静电手环，禁止在设备运行时触碰高压测试模块。
 

　　真空泵运行过程中，严禁触碰泵体旋转部件，泵体工作时会产生一定热量，避免直接接触高温部位防止烫伤。
 

　　操作过程中严禁在设备周边使用明火，若使用氮气、氩气等惰性气体，需保证作业环境通风良好，防止气体积聚。
 

　　严禁私自拆卸、改装设备部件，设备故障需由专业维修人员进行排查维修，非专业人员不得擅自打开设备机箱、真空腔内部结构。
 

　　遵守实验室安全规范，配备必要的消防器材、应急防护用品，熟悉设备紧急停机按钮位置，遇突发情况立即停机并切断总电源。