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技术文章
更新时间：2026-07-29
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分子泵（涡轮分子泵）能获得 10⁻⁴–10⁻⁷ Pa 的高真空，但它不能直接在大气下启动，必须配一台 前级泵（机械泵/干泵） 先把腔体抽到分子泵启动压力（通常 ≤ 1–10 Pa）以下。分子泵 + 前级泵 = 分子泵组。
| 分子泵抽速 | 建议前级泵抽速 |
|---|---|
| ≤ 300 L/s | 4–8 m³/h 机械泵 |
| 300–1000 L/s | 8–15 m³/h |
| > 1000 L/s | 15 m³/h 以上或干泵 |
原则：前级泵抽速 ≥ 分子泵最大排气量的 1/10，避免前级压力过高导致分子泵失效。
达到目标真空的时间 t ≈ 腔体容积 V ÷ 有效抽速 S。选泵时让 有效抽速 S ≥ V / 目标时间。例如 10 L 腔体想 10 分钟抽到 10⁻³ Pa，需 S ≈ 100 L/s 量级（再留余量）。
ISO-KF：小口径快接，常用于前级管路（≤50 mm）；
ISO-K：大口径法兰，高真空侧主流；
CF（ConFlat）：金属密封，超高真空（≤10⁻⁷ Pa）优先选择。
真空探针台：分子泵组 + 腔体，维持高真空表征环境；
真空封管机：前级泵 + 分子泵保障封管真空度；
镀膜/退火：大抽速泵组配合腔体。
A：分子泵不能在大气下启动，需前级泵先把腔体抽到其启动压力（≤1–10 Pa）以下，再由分子泵继续抽到高真空，两者组成泵组。
A：按腔体容积 V 与目标抽气时间 t 估算：有效抽速 S ≥ V/t；再叠加管路流导损失留余量。例：10 L 腔体 10 分钟到 10⁻³ Pa 需约 100 L/s 量级。
A：前级侧常用 ISO-KF 快接；高真空侧用 ISO-K 法兰；超高真空（≤10⁻⁷ Pa）用 CF 金属密封法兰。
A：不能。必须在前级泵将压力降到启动阈值以下后才能启动，否则会损坏转子；部分机型带"大气启动"保护但仍有压力限制。
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