分子泵启停操作规程：防止叶片损坏的注意事项

分子泵的叶片以每分钟数万转高速旋转，间隙极小。操作不当——尤其是启停顺序错误——是分子泵损坏的头号原因。叶片打碎、轴承损坏、转子变形，修一次的费用可能够买台新机械泵。这篇把分子泵启停的完整规程讲清楚，建议打印贴到泵旁边。

一、启动前的检查清单

1. 前级泵先就位：确认前级机械泵运行正常，管路阀门通畅；

2. 压力条件：分子泵通常在出口压力达到允许范围后才能启动（启动前确认腔内压力已由前级泵预抽到分子泵允许的启动压力，一般要求在 10⁻¹ Pa 量级或更低，按设备手册执行）；

3. 冷却确认：水冷泵确认冷却水流通、流量正常；风冷泵确认风扇运转；

4. 供电稳定：确认供电无波动，突然断电对高速旋转的转子最危险。

二、启动流程

1. 先开前级泵，预抽管路和腔体；

2. 待压力降到分子泵允许的启动压力后，启动分子泵；

3. 观察启动过程：转速平稳上升、无异常噪音、电流正常；

4. 达到额定转速后，再打开高真空侧阀门，开始抽高真空。

三、停机流程（顺序反了会出事）

1. 先关高真空侧阀门（闸板阀/插板阀），隔断腔体；

2. 再停分子泵，让转速自然下降（不要急停）；

3. 转速降下来后（接近安全转速），再停前级泵；

4. 如果系统长期不用，把分子泵排气口用盲板或阀隔离，防止返油和污染。

四、绝对不能做的事

1. 压力没到就启动分子泵：叶片在高气压下阻力过大，电机过载、叶片可能损伤；

2. 带压急停：高转速下突然断电或强制停机，转子轴承受冲击；

3. 先停前级泵再停分子泵：前级泵一停，出口压力瞬间上升，气体倒灌冲击叶片；

4. 掉电后马上重启：掉电后转子还在高速转动，立即重启会导致轴承和叶片损坏，等转子停稳再重启。

江麦智能方案

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