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更新时间：2025-04-18
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D07-19质量流量控制器/流量计根据毛细管传热温差量热法原理，设置模拟量程，不因温度和压力的波动而失准，无需进行温度、压力补偿即可实现对各种气体精准测量和控制。D07-19质量流量控制器/流量计系列产品具有稳定性高、易维护等特点。
优势
高精度、高稳定性、快速响应：准确度小于±1%F.S.，线性度小于±0.5%F.S.，重复精度小于±0.2%F.S.，响应速度不超过2s
零漂系数低：采用软硬件实现温度补偿功能，零点： ≤±0.05% F.S./℃；调节时：≤±0.1% F.S./℃
功能完善：具有自动清零、报警、软起动、延时等功能的客户端使用软件
国际认证：取得CE、ROHS认证
创新点
数字内核电路板：数字内核计算，实现更好的控制调节，并实时交互数据
恒功率传感器：采用了一种新型恒功率式传感器技术，大幅提高系统测量准确性及响应速度
数字传感器补偿技术：采用数字式传感器电桥平衡方法补偿传感器驱动电压，抑制温度漂移
VCP的阀控技术：阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可有效提高气体质量流量控制器控流稳定性。
应用领域
特种工业—石油化工
特种工业—光纤
特种工业—真空镀膜
特种工业—热处理
生命科学—环境保护
生命科学—食品工业
生命科学—生物工程
生命科学—医疗健康
生命科学—分析仪器
科学研究—实验器材
技术指标
| 型号 | D07-19B | D07-19J | D07-19JM |
| 流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | ||
| 流量控制范围 | 2~100% of F.S. | ||
| 准确度 | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. | |
| 线性 | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2 % F.S. | ||
| 响应时间 | ≤2 sec | ||
| 工作压差范围 | ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa | 0.1 ~ 0.4 MPa (≤10SLM) 0.1 ~ 0.3 Mpa(10SLM＜F.S.≤30SLM) 0.25~ 0.45 MPa (＞30SLM) | <0.02 MPa (2.9 psid) |
| 最大工作压力 | 1 MPa (145psig) | ||
| 耐压 | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | |
| 漏率 | 1×10-9Pa·m3/sec He | ||
| 温度系数 | Zero: ≤±0.05% F.S./℃; Span: ≤±0.1% F.S./℃; | ||
| 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | ||
| 输入信号 | 0 V ~ +5.00 V （输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | 4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V | |
| 输出信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | 4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V | |
| 电源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | 24VDC 400 mA；+15V 50mA , - 15V 200mA | |
| 重量 | 0.95 kg | 1.2kg | 1.0 kg |
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