可燃、有毒、腐蚀性气体配比专项注意事项，安全配气避坑指南

一、可燃气体（氢气、甲烷、乙烯等）配比注意事项

1. 整套配气系统电气部件必须具备防爆资质，车间禁止明火、静电、手机、无防爆电机；设备可靠接地消除静电积累。

2. 氢气等可燃气体配比浓度严格低于爆炸下限，配置可燃气体报警器，报警阈值设置在爆炸下限 25% 以内。

3. 氢气管路全程没有无法流通的角落，管路内径合理，避免气体滞留聚集；尾气持续通入燃烧处理装置，禁止直接排放密闭空间。

4. 禁止氢气与强氧化气体（氧气、一氧化二氮）近距离同管路混合，两路气体需在腔体后端再混合，防止管路内部爆燃。

5. 检漏优先使用氦检，避免皂液残留腐蚀管路；发现漏点立即切断气源，通风置换后再维修。

二、有毒有害气体（硫化氢、一氧化碳、甲醛等）配比注意事项

1. 全部操作必须在通风橱内完成，操作人员佩戴防毒面具、耐腐手套、防护眼镜，无关人员禁止进入操作区域。

2. 有毒气体气瓶单独存放，隔离放置，配备专用吸附中和装置；实验尾气经过中和、吸附处理后再排放。

3. 配比浓度严格控制在实验低需求，尽量降低管路内有毒气体存量，缩短管路长度，减少气体滞留量。

4. 设备停机吹扫时间延长至 30 分钟以上，确保管路内有毒气体被惰性载气置换，再拆卸管路。

5. 现场常备中和药剂、应急洗眼装置，发生气体泄漏立即关闭气源，开启强通风，人员撤离至上风处。

三、强腐蚀性气体（氨气、氯化氢等）配比注意事项

1. 气路全套采用耐腐蚀材质：PTFE、316L 不锈钢、哈氏合金，普通碳钢、铜管路严禁使用，短期即被腐蚀穿孔漏气。

2. 管路、MFC 内部密封件选用氟橡胶，普通橡胶密封圈会快速被腐蚀膨胀，造成堵塞与泄漏。

3. 腐蚀性气体极易吸水形成酸液，气源前端加装干燥过滤装置，全程避免水汽进入管路；低温环境管路增加伴热防止凝露腐蚀。

4. 每次实验结束必须长时间干燥氮气吹扫，带走管壁吸附的腐蚀性组分，避免长期残留腐蚀内部元件。

5. 定期拆解管路、流量计进行清洗保养，腐蚀产生的金属杂质会堵塞 MFC，造成流量失控。

四、特种气体配比通用安全注意事项

1. 不同危险气体气瓶分区摆放，可燃、氧化、腐蚀性气瓶分开存放，预留安全隔离距离。

2. 配气设备独立放置，不与高温加热台、电炉、激光设备近距离摆放，隔绝热源。

3. 多人操作制定标准化作业流程，单人独立操作时安排人员现场监护，禁止无人值守长时间配比实验。

4. 设备配套压力过载保护阀，压力异常自动切断气源，防止管路超压破裂引发气体泄漏。

5. 定期开展安全培训，操作人员熟知泄漏应急处置、气瓶关阀、通风、人员急救全套流程。

五、精度控制额外注意事项