真空探针台测试仪，用于芯片，气敏元器件等在不同气氛环境下电学性能，也可用 于材料分析。广泛应用于半导体电学性能测试、物理研究，气敏分析、集成电路、LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领等系统中的重要部件。

主体

VS21-4
（4探针）

腔体材质： AL6061(可定制SUS304腔体)
密封方式：氟胶圈    
抽气口:KF16
电信采集接口：标配BNC接口
腔体进气口：6mm(特殊可定制)
腔体外尺寸：6寸
样品台尺寸：2寸
样品观察窗：φ50mm

VS21-6
（6探针）

探针组件    （单组价格）

Q2

气密型同轴接口探针夹具（普通型）

Q3

气密型三轴接口探针夹具（抗干扰性强，应用于半导体）

V2

真空型同轴接口探针夹具（普通型，需要抽真空时选择）

V3

真空型三轴接口探针夹具（抗干扰性强，应用于半导体，需要抽真空时选择）

探针规格

000T

镀金，50μm(可选：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探针。

R2

双头线

位移座

ST

XYZ三轴位移尺寸(X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm）

高低温控制系统

H

高温控制器:常温～450℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃（进口温控）

L

低温控制器:-194℃～0℃，控制精度±0.25℃

真空系统

MP

机械泵（飞跃）:2.2L/S(真空度1*10^-1Pa)（不包含真空计）

TP

分子泵组（Leybold）:90L/S(真空度5*10-5Pa)

复合真空计（Leybold ):PTR90(大气至5*10-7Pa)主体需要采用

不锈钢材质，才能抽到高真空

显微镜

PM

体式显微镜:ZOOM645S（环形光源）

CM

CCD：200万像素

DP

戴尔显示器：21寸

SJ

视频显微镜+10寸显示屏（100万像素）

附件

D20

液氮杜瓦罐:20L（温度控制在-196℃-室温可控）