半导体冷热探针台，用于芯片、气敏元器件等在不同气氛环境下电学性能，也可用变温光学测试、变温电学测试、材料表征等分析。广泛应用于半导体电学性能测试、物理研究、气敏分析、锂电池测试、LED、LCD、二维材料测试、电镜扫描、太阳能电池等行业的制造和研究领等系统中的重要部件。

主体

HB25-4
（4探针）

腔体材质：AL6061(可定制SUS304腔体)
密封方式：氟胶圈    
抽气口:KF16
电信采集接口：标配BNC接口
腔体进气口：6mm(特殊可定制)
腔体外尺寸：110mm×100mm×38mm
样品台尺寸：φ35mm
样品观察窗：φ35mm

通光口：φ3mm

HB25-6
（6探针）

探针组件    （单组价格）

V2

真空型同轴接口探针夹具（普通型，需要抽真空时选择）

V3

真空型三轴接口探针夹具（抗干扰性强，应用于半导体，需要抽真空时选择）

探针规格

000T

镀金，50μm(可选：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探针。

R2

双头线

水冷机

W

温度高于200℃范围需要配置水冷机

温控系统

CL

高温控制器CL200:-35℃～120℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃

真空系统

MP

机械泵（飞跃）:2.2L/S(真空度1*10^-1Pa)（不包含真空计）

TP

分子泵组（Leybold）:90L/S(真空度5*10-5Pa)

复合真空计（Leybold ):PTR90(大气至5*10-7Pa)主体需要采用

不锈钢材质，才能抽到高真空

显微镜

PM

体式显微镜:ZOOM645S（环形光源）

CM

CCD：200万像素

DP

戴尔显示器：21寸

SJ

视频显微镜+10寸显示屏（100万像素）