D07-7质量流量控制器/流量计是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。

产品型号：

更新时间：2025-03-21

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PRODUCT CLASSIFICATION

七星华创/华丞电子

D07系列

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产品介绍

质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

D07-7质量流量控制器/流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07系列质量流量控制器一般与 D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接。

特点

　　• 橡胶密封、模拟电路的MFC

　　• 管状分流，使用寿命长

D07-7质量流量控制器/流量计技术参数

编号	类型	D07-7K 型	D07-7B 型	D07-7C 型	D07-7CM 型
1	流量规格	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
2	准确度	±1 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S
3	线性	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S
4	重复精度	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	响应时间	电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec	电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec	电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec	10 sec
6	气压降	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 MPa
7	工作压差范围	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	<0.01 MPa
8	温度系数	Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	最大工作压力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	耐压	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	工作环境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	输入输出信号	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
13	电源	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	重量	1.1 kg	1.1 kg	1.1 kg	0.92 kg