D07-9质量流量控制器/流量计是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-9产品是华丞电子研发精度高、响应时间快的模拟产品。

产品型号：

更新时间：2025-03-28

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七星华创/华丞电子

D07系列

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产品介绍

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

D07-9质量流量控制器/流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 采用国际标准接头, 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。

D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制控制器与显示之间用专用电缆连接。

特点

• 中流量型
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型电插头，国际标准机械接头

D07-9质量流量控制器/流量计技术参数

类型	D07-9E 型	D07-9EM 型	D07-9F 型	D07-9FM 型
流量规格	( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
准确度	±2 % F.S.	±2 % F.S.	±2% F.S.	±2 % F.S.
线性	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1% F.S.	±1 % F.S.
重复精度	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2% F.S.	±0.2 % F.S.
响应时间	(1 ~ 4) sec	(1 ~ 4) sec	≤ 4sec	≤4 sec
工作压差范围	20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid） 50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa （14.5~43.5 psid） 200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa （21.8~43.5 psid）	-	20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) 50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid) 200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)	-
气压降	-	20~100SLM: <0.02 MPa （2.9 psid）; >100SLM: <0.05 MPa （7.3 psid）	-	20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); >100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
最大工作压力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
耐压	3 MPa （435.1 psig）	3 MPa （435.1 psig）	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)
工作环境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
输入输出信号	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	4~20 mA 或 1~5 VDC	4~20 mA 或 1~5 VDC
电源	+15 V 50 mA -15V 400 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
重量	2.6 kg	1.5 kg	2.6 kg	1.5 kg